一個光譜儀的性能可以用以下六個參數來體現：1. 光譜覆蓋范圍: 光信號能被光譜儀檢測到的波長范圍 2. 光譜分辨率: 能被光譜儀分辨開的最小的波長差值。3. 靈敏度: 能被光譜儀檢測到的最小的光能量 4. 動態范圍: 可被光譜儀測量到的最大與最小光能量的比值 5. 信噪比: 光譜儀的信號能量水平與噪聲水平的比值 6.光譜獲取速度: 在一定的入射光能量水平下，光譜儀產生可測量到的信號并獲得譜圖所需的時間