死機程序錯誤，一般剛開始使用的光纖光譜儀如果出現這類問題的話，極有可能是通訊線接觸不良。新儀器電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對，都有可能是通訊線接觸不良造成的解決的方法也很簡單，只需要將此為通訊線接觸不良，重新連接即可。
排氣不暢引發的故障，光纖光譜儀排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，過濾器入口端有異物。如果設備的內部有異物，將會引起排氣不暢。要定期更換排氣管，要更換透明的塑料管，定期對排氣管路進行吹掃。
溫度偏高故障，光纖光譜儀的溫度偏高，多半是風扇出現了問題。如果是風扇出現問題，就要及時的進行更換。
真空值下降快故障，真空值也是光纖光譜儀一個重要的參數，如果真空值下降過快就證明儀器出現了故障?？梢酝ㄟ^檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈來解決故障。
光強值下降，儀器的光強值下降下降的話，將會對設備造成非常大的影響。導致這個現象的原因是透鏡臟、入射狹縫污染光纖老化?？梢圆潦猛哥R，清理狹縫，更換光纖來進行解決。