CCD

電荷耦合器件（Charger Coupled Device，縮寫為CCD ） ，硅基光敏元件的響應范圍在短波近紅外區域 。

PDA

二極管陣列（Photodiode Array，縮寫為PDA）.光電二極管陣列是由多個二極管單元（象素）組成的陣列。當信號光照射到光電二極管上時，光信號就會轉換成電信號。

狹縫

光源入口。狹縫面積影響通過的光強度。狹縫寬度影響光學分辨率。

暗電流

未打開光譜儀激發光源時，感光器件接收到的光電信號。主要影響因素有溫度，電子輻射等。
分辨率

光學分辨率定義為光譜儀可以分開的最小波長差。要把兩個光譜線分開至少要把它們成象到探測器的兩個相臨象元上。分辨率依賴于光柵的分辨本領、系統的有效焦長、設定的狹縫寬度、系統的光學像差以及其它參數。

光譜儀分辨率可近似如下度量： R∝ M·F/W。其中M為光柵線數 ,F為譜儀焦距, W為狹縫寬度。

色散

光譜儀的色散決定其分開波長的能力。光譜儀的倒線色散可計算得到：沿光譜儀的焦平面改變距離χ引起波長λ的變化，即： Δλ/Δχ=dcosβ/mF。其中d、β、F分別是光柵刻槽的間距、衍射角和系統的有效焦距，m為衍射級次。

光柵

光柵作為重要的分光器件，它的選擇與性能直接影響整個系統性能。光柵分為刻劃光柵、復制光柵、全息光柵等。

帶寬

帶寬是不考慮光學像差、衍射、狹縫高度、掃描方法、檢測器像素寬度等因素，在給定波長從光譜儀輸出的波長寬度。它是倒線色散和狹縫寬度的乘積。

波長精度、重復性和準確度

波長精度是光譜儀確定波長的刻度等級，單位為nm。通常，波長精度隨波長變化。

波長重復性是光譜儀返回原波長的能力。這體現了波長驅動機械和整個儀器的穩定性。

波長準確度是光譜儀設定波長與實際波長的差值。

F/#

F/#定義為光譜儀準直凹面反射鏡的直徑與焦距的比值。光通過效率與F/#的平方成反比，F/#愈小，光通過率愈高。