光纖光譜儀究其實質是一個“分光”儀器,現在有幾種方式來實現分光功能。主流的方式是用光柵作為色散部件,將不同波長的光在空間上分開,用陣列探測器接收并輸出光譜。另一種方式是用干涉儀調制入射光,用單元探測器接收被調制了的光,并輸出光強隨時間變化的曲線,再用傅里葉變換還原光譜,這就是傅里葉光譜儀。
由于在UV-VIS-NIR波段,硅CCD, CMOS陣列的工藝成熟,性價比好,再加上無移動部件,可靠性好,因此,幾乎無一例外地使用光柵色散,陣列探測器檢測的方式。只是在波長大于900nm的近紅外波段,硅材料實在無法勝任,才采用InGaAs線列探測器,但是,至少在現階段InGaAs線列探測器還是太貴,于是才有人嘗試采用傅里葉光譜技術,轉動光柵技術,美國德州儀器公司的DLP(Digital Light Procession)技術,其核心是用MEMS技術制造一個微鏡陳列,可以用集成電路芯片組驅動每一個微鏡的方向,這樣就可以用單元InGaAs探測器,使近紅外波段的微型光譜儀成本下降。另一種思路是怎么把光譜儀做得更小,更便宜,干脆不用光柵分光,雖然性能不一定那么好,但是對于有些應用也許就足夠了,這基本上就是用濾光片加線列探測器的方法。
就采用光柵分光技術的微型光譜儀而言,其性能主要決定于三個方面,光學設計,光柵的選擇,探測器的選用。
光學設計又與采用的光柵種類有關,現用的光柵有反射光柵和透射全息光柵兩大類,采用不同光柵的光譜儀光學設計方案有所不同。現在的主流是反射光柵,這是由于制造工藝相對成熟,因此價格也相對低一些的原因,采用反射光柵,又要做得體積小,采用折疊光路的設計就很自然了,因此,交叉光路Czerny-Turner 結構(Crossed Czerny-Turner)成為市場最流行的設計;另一類是透射全息光柵,它的主要優點是光柵效率高,導致光學系統的光通量大,對于一些測量比較微弱的光的應用,或者快速動態過程分析,不允許長的積分時間,就傾向于選擇透射光柵,當然,價格相對會貴一些。
-用光纖將待測光束通過標準的SMA905接頭接入光譜儀。
-待測光束通過狹縫進入光譜儀,狹縫就是成像系統中的“物”,通常為矩形,根據應用的要求,狹縫的寬度可選,較寬的狹縫允許更多的光子進入光學系統,即系統的光通量較大,但這是以損失分辨率為代價。典型的狹縫寬度在5um-200um之間,高度為1mm。
-從狹縫出射的光是發散的,我們希望入射光束的傳播方向是可控的,不要散射到不該去的地方,導致雜散光太大,通過準直光學部件,通常是反射鏡,將其變為平行光束。
-光柵作為色散元件:這是對光譜儀性能有決定性影響的元件,不同波長的光被衍射到空間不同的方向。光柵的參數包括刻線密度,閃耀角度等,都會影響到光譜儀的性能指標,包括分辨率,波長范圍,光柵效率曲線等。
-反射鏡作為光束匯聚器件,將光柵分光后不同波長狹縫的“像”匯聚到陣列探測器不同的像元上。每個像元會接收到波長范圍很窄的光子(15 nm to 0.02 nm,取決于光譜儀的結構)
眾所周知,狹縫的寬度會影響到光譜儀的分辨率和響應率,
-探測器陣列:探測器是實現光電轉換的重要器件。線陣探測器上的每一個象元的讀出數據對應于一個特定的波長范圍,在紫外,可見光,短波近紅外波段,硅CCD是目前使用最多的探測器,其性價比最好,探測器本身的噪聲對光譜儀信噪比的影響。只有在900nm-2500nm的近紅外波段才使用InGaAs線列探測器。
-模-數轉換電路ADC (Analog-to-Digital Converter):探測器讀出電路給出的是電壓模擬信號,通過ADC把模擬信號轉換為數字信號,將每個像元輸出的電壓轉換為一個特定的數字,這個讀數被稱為“counts”
ADC器件性能的重要指標是它輸出的數字是用多少位二進制數字來表示。一個12位的模數轉換電路可以將滿量程光強度用0-4096(212)個counts來表示。相應的,同樣的滿量程光強度,如果用16位的模數轉換電路其輸出則是用0-65535(216)個counts來表示。由此可見ADC器件的位數反映了光譜儀在垂直方向的“分辨率“。(如圖xxx所示)ADC的位數越高其輸出的讀數就可以越”準確“地描述光譜的強度。
因此,對于一個采用2048個像元的線列探測器和12位模數轉換器件的光譜儀,每條光譜曲線會輸出2048個波長和對應光強的數據對,每個光強的數據用一個12位數字表示。這些數據是光譜的原始數據。
-光譜儀內還包括以微處理器為中心的一些電路,主要包含兩部分功能。一方面,產生光譜儀CCD或CMOS探測器所需的控制時序,使探測器按用戶設定的工作模式工作;另一方面,實現與PC機的通信,如從探測器中讀出數據并傳送到PC端。這些電路的性能,譬如,模擬電路的噪聲水平、處理器的主頻、緩存的大小和通信接口的速度,都會對光譜儀的整體性能有重要影響。